比較激光表面處理技術(shù)和電子束表面處理技術(shù)的異同點。

　　電子束、離子束、激光束是表面工程領(lǐng)域內(nèi)的三大載體，號稱三束改性。都具有高能量密度特性。

　　離子束加工是一種元素注入過程，具有輻照損傷、噴丸作用、表面壓縮、形成表面非晶態(tài)，形成彌散化合物質(zhì)點等效應(yīng)，而電子束與激光束的主要作用在高能量，沒有輻照、表面壓縮等特性。

　　1、加工原理:電子束和離子束的加工原理相似，都是發(fā)生撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和 注入效應(yīng)，從而實現(xiàn)加工;而激光束加工的機理是熱效應(yīng)。

　　2、加工裝置:電子束和離子束相似，主要由電子槍系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、 和電源系統(tǒng)做成;而激光束是由激光器、電源、光學(xué)系統(tǒng)、機械系統(tǒng)等組成。

　　3、加工特點:

　　電子束: 束徑小、能量密度高; 非接觸加工，加工過程中工具與加工工件之間不存在明顯的機械切削力，不產(chǎn)生宏觀 應(yīng)力和變形; 被加工對象范圍廣; 電子束能量高，加工速度快、效率高; 電子束加工需要一套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價格昂貴。

　　離子束: 加工精度和表面質(zhì)量高;加工材料廣泛;加工方法豐富;性能好，易于實現(xiàn)自動化; 應(yīng)用范圍廣泛，可根據(jù)加工要求選擇。

　　激光束: 加工精度高; 加工材料范圍廣;加工性能好;加工速度快、效率高; 價格昂貴 加工方法。

　　電子束; 電子束掃描曝光; 電子束投影曝光; 電子束表面改性。

　　離子束: 離子束濺射去除加工;離子束濺射鍍膜加工; 離子束注入加工;離子束曝光加工。

　　激光束:加工精度高; 加工材料范圍廣; 加工性能好; 加工速度快、效率高; 價格昂貴。